Institutul de Fizică și Tehnologie RAS

Institutul de Fizică și Tehnologie ( FTIAN ) este un institut al Departamentului de Nanotehnologie și Tehnologia Informației din cadrul Academiei Ruse de Științe .

Din mai 2017, directorul Institutului de Fizică și Tehnologie - Membru corespondent al Academiei Ruse de Științe, Doctor în Științe Fizice și Matematice Vladimir Fedorovich Lukichev .

Divizii științifice

• Laboratorul de Modelare Matematică a Proceselor Fizice și Tehnologice în Microelectronică (MMFTPM)
• Laborator de microstructurare și dispozitive submicronice (MSSP)
• Laborator de litografie submicronica (SL).
• Laboratorul de fizica suprafetelor si structuri microelectronice (FPMS)
• Laboratorul de baze fizice ale calculului cuantic

Proiecte și cercetare

• Tehnologii Ion Beam
• Gravarea chimică cu plasmă este o tehnologie pentru crearea elementelor MEMS și NEMS

Istoria FTIAN

Creat în 1988 pe baza Departamentului de Microelectronică a Institutului de Fizică Generală al Academiei de Științe a URSS .

Anterior, directorii institutului au fost: academicianul Kamil Akhmetovich Valiev și academicianul Orlikovsky Alexander Aleksandrovich , care l-a înlocuit în acest post în 2005 .

Vezi și

• Filiala Yaroslavl a Institutului de Fizică și Tehnologie RAS

Link -uri

• Institutul de Fizică și Tehnologie (FTIAN)
• Departamentul de Probleme Fizice și Tehnologice de Microelectronică pe baza Institutului de Fizică și Tehnologie