Surse de plasmă

Sursele de plasmă sunt dispozitive concepute pentru a crea plasmă . Crearea plasmei necesită ionizarea cel puțin parțială a atomilor neutri și/sau moleculelor mediului. În tehnologie, de regulă, anumite tipuri de descărcare de gaz sunt utilizate pentru a crea plasmă .

Sursele de plasmă de înaltă presiune (de la 1000 Pa până la presiunea atmosferică și, rar, mai mare) sunt numite torțe cu plasmă sau torțe cu plasmă. În ele, de regulă, plasma se formează într-o cameră de descărcare specială, prin care este suflat gazul care formează plasmă. Cea mai des folosită descărcare cu arc sau inducție . Pentru puteri mici (până la câțiva kW), torțele cu plasmă cu microunde sunt, de asemenea, comune .

Sursele de plasmă pentru presiuni joase nu au o denumire comună și sunt clasificate după principiul de funcționare:

• Arc:
  • catod rece ;
  • cu catod incalzit ;
  • în două etape;
• Bazat pe o descărcare cu fascicul-plasmă , în special cu un catod gol ;
• Cuplat inductiv :
  • cu bobină sub formă de solenoid ;
  • cu o bobină plată;
  • bazată pe descărcarea heliconului
• Cuplat capacitiv
• Bazat pe descărcarea cuptorului cu microunde , inclusiv prin utilizarea:
  • rezonanța ciclotronului electronic ;
  • descărcare pe o undă de suprafață ;
• Pe baza descărcării în câmpuri încrucișate:
  • Izvoarele Hall;
  • surse cu un strat anodic.

Sursele cu plasmă au multe aplicații, în special sursele de lumină și prelucrarea materialelor cu plasmă.

Vezi și

• Plasmatron
• sursa de ioni
• Tratament cu plasma

Literatură

• Popov OA Surse de plasmă de înaltă densitate: design, fizică și performanță. - Mill Road, Park Ridge, New Jersey, SUA: Noyes Publications, 1995.
• Gabovich MD Surse plasmatice de ioni. - Kiev: Naukova Dumka, 1964. - 224 p.

• Jukov M.F. Încălzitoare electrice cu gaz cu arc (plasmatron). - M. : Nauka, 1973. - 232 p.

• Barchenko V.T. Surse tehnologice de plasmă cu arc de vid. - Sankt Petersburg. : Editura Universității Electrotehnice din Sankt Petersburg „LETI”, 2013. - 242 p. — ISBN 978-5-7629-1366-9 .

• Aksenov II Arc de vid: surse de plasmă, depunerea de acoperire, modificarea suprafeței. - Kiev: Naukova Dumka, 2012. - 727 p.

• Popov VF, Gorin Yu. N. Procese și instalații de tehnologie electron-ion. - M .: Mai sus. şcoală, 1988. - 255 p. — ISBN 5-06-001480-0 .

• Vinogradov M.I., Maishev Yu.P. Procese și echipamente de vid pentru tehnologia fasciculului de ioni și electroni. - M . : Mashinostroenie, 1989. - 56 p. - ISBN 5-217-00726-5 .