Subrugozitate ( ing. subrugozitate ) - microrelief al celor mai mici elemente ale reliefului de suprafață implicate în formarea rugozității acestuia .
Subrugozitatea este detectată folosind metode moderne de precizie și mijloace de investigare a suprafeței, cum ar fi microscoape de scanare cu tunel și forță atomică , care au o rezoluție de ordinul 1-10 nm . Subrugozitatea este formată din neregularități de suprafață cu dimensiuni caracteristice de aproximativ 1–100 nm în înălțime și 10–1000 nm în pas. Formarea subrugozității este strâns legată de structura internă a unui corp solid, de defectele acestuia, precum și de procesele de interacțiune a suprafeței cu mediul ( oxidare , adsorbție ).