FOUP (abrevizare din engleză. Front Opening Unified Pod [1] - Modul de încărcare frontal unificat sau Front Opening Universal Pod [2] , SEMI E47.1) este un standard în industria microelectronică. Descrie un recipient din plastic specializat conceput pentru a stoca plachete de siliciu într-un mediu controlat [3] și pentru a muta grupuri de plachete între diferite unități de producție sau stații de măsurare.
Standardul FOUP a apărut împreună cu primele mașini de prelucrare a plachetelor semiconductoare cu diametrul de 300 de milimetri la mijlocul anilor 1990 [4] . Dimensiunea plăcilor și rezistența lor relativ scăzută au împiedicat utilizarea recipientelor similare cu SMIF . Pentru a se adapta limitărilor plachetelor de 300 mm, a fost dezvoltat FOUP, iar sistemul de casete de napolitane a fost abandonat . Plăcile din FOUP sunt ținute în poziție prin urechi pe părțile laterale ale recipientului. În loc de ușa cu deschidere inferioară a SMIF, noul standard folosește o ușă frontală detașabilă care permite dispozitivului robotizat de deplasare a plăcilor să ridice căptușeala direct din containerul FOUP.
Greutatea unui FOUP standard gol pentru 25 de napolitane [5] depășește 5 kilograme, iar unul încărcat complet este de aproximativ 9 kilograme, ceea ce este prea greu pentru un transport manual fiabil. Din acest motiv, sistemele automate de manipulare a materialelor sunt utilizate în mod obișnuit cu acest standard. Fiecare container are un număr de plăci de conectare standard, urechi și găuri pe suprafața exterioară, ceea ce permite FOUP să fie poziționat cu precizie pe porturile de încărcare ale echipamentului și mutat folosind AMHS ( Automat Material Handling System ). Containerele FOUP sunt de obicei prevăzute cu etichete care pot fi citite de mașină, cum ar fi etichetele RF [6] [7] [8] , care le fac mai ușor de identificat. Corpul containerului poate fi realizat într-o culoare specifică care poate fi folosită pentru a identifica napolitanele în diferite etape de fabricație (de exemplu, Intel a folosit portocaliu pentru napolitanele care conțin cupru și verde pentru napolitanele acoperite cu aluminiu) [8] .
FOSB ( Front Opening Shipping Box ) este un container pentru transportul plachetelor semiconductoare între clădirile de producție . [unu]