Spectroscopia fotoelectronului cu raze X ( XPS ) este o metodă spectroscopică semicantitativă pentru studierea compoziției elementare , a stării chimice și electronice a atomilor de pe suprafața materialului studiat. Se bazează pe fenomenul efectului fotoelectric extern . Spectrele XPS sunt obținute prin iradierea materialului cu un fascicul de raze X cu înregistrarea dependenței numărului de electroni emisi de energia lor de legare. Electronii investigați sunt emiși pe toată adâncimea de penetrare a radiației de raze X moi utilizate în proba studiată (de obicei de ordinul a 1 μm , care este foarte mare în comparație cu dimensiunea atomilor și moleculelor). Cu toate acestea, electronii eliminați de cuantele de raze X sunt absorbiți puternic de substanța studiată într-o asemenea măsură încât, emiși la o adâncime de aproximativ 100 Å , nu mai pot ajunge la suprafață, nu mai pot fi emiși în vid și, în consecință , să fie detectate de instrument. De aceea, metoda XPS poate colecta informații despre cele mai de sus (aproximativ 10-30) straturi atomice ale unei probe fără informații despre volumul acesteia. Prin urmare, XPS este indispensabil ca metodă de analiză și control într-o serie de industrii, cum ar fi industria semiconductoarelor , cataliză eterogenă etc.
XPS este o metodă de analiză a suprafeței care poate fi utilizată pentru a analiza starea chimică a unui material atât în starea sa inițială, cât și după o anumită prelucrare, cum ar fi ciobirea, tăierea sau curățarea în aer sau vid ultraînalt pentru a studia compoziția chimică internă a probei, iradiere cu un fascicul de ioni de mare energie pentru curățarea suprafeței de contaminanți, încălzirea probei pentru studiul modificărilor datorate încălzirii, expunerea în atmosferă a unui gaz reactiv sau soluție, iradierea cu ioni pentru a le introduce, iradierea cu lumină ultravioletă.
Deoarece radiația cu o lungime de undă cunoscută este utilizată pentru a excita fotoemisia, energia de legare a electronilor emiși poate fi găsită din ecuația care urmează din legea conservării energiei :
,unde este energia de legare a electronului, este energia fotonului excitant, este energia cinetică înregistrată experimental a electronului și φ este funcția de lucru a spectrometrului.