Supapele de vid sunt supape de conductă care asigură îndeplinirea funcțiilor lor la presiuni absolute de funcționare mai mici de 0,1 MPa (1,0 kgf / cm² ) [1] . Include dispozitive auxiliare, de obicei tipice ale sistemelor de vid , inclusiv: [2]
Fitingurile de vid necesită o etanșeitate foarte mare a tuturor pieselor și conexiunilor sale și o separare foarte mică a gazului de pereții și etanșările sale . Imbinarile fitingurilor de vid redus sunt sigilate cu garnituri de cauciuc de vid, tijele mobile sunt sigilate cu cutii de presa cu un design special. În sistemele de vid înalt și ultra-înalt , burdufurile sunt utilizate în mod obișnuit pentru mișcarea tijelor ; garniturile pentru fitingurile de vid ultra-înalt sunt fabricate din cauciuc rezistent la căldură, unele tipuri de materiale plastice și metale ductile [2] .
Acționarea supapelor și obturatoarelor de vid poate fi manuală (denumiri respectiv KSVR, ZSVR), electropneumatic (KSVP, ZSVP), electromagnetic (KSVM) [3] .
Conductivitatea teoretică (în modul molecular) U , l / s , pentru aer ( M = 28,8, T = 300 K ) este: [3]
Fluxurile de gaze în regim vâscos și vâscozitate moleculară pot fi calculate pe baza teoriei similitudinii ; pentru sisteme similare din punct de vedere geometric, conductivitatea depinde de aria secțiunii transversale, de raportul dintre lungimea și diametrul efectiv, indicele adiabatic al gazului, numărul Kn și, într-o măsură mai mică, de numerele Re și M [4] ] .